Teknik ini memungkinkan partikel-partikel untuk melewati hambatan yang biasanya tidak dapat diatasi. Elektron-elektron terowongan melalui vakum antara dua elektroda logam planar, di masing-masing yang masing-masing adalah atom yang teradsorpsi, memberikan kepadatan arus terowongan yang dapat diukur. Pemindaian satu atom (diambil sebagai ujung) saat bergerak melewati yang lain (sampel) memungkinkan plot perpindahan versus pemisahan ujung lateral untuk arus konstan. Perhitungan menunjukkan sejauh mana gambar-gambar mikroskop terowongan pemindaian dari atom individu terlihat.
fenomena terowongan kuantum