تترافلوئورید سیلیسیوم (Silicon tetrafluoride, Тетрафторид кремния، رباعي فلوريد السيليكون) بیر شیمیایی ماده. قاز حالتینده تاپیلار. تترافلوئورید سیلیسیوم فلوئور بیلشیک‌لری گروه یا قروپوندا یئرلشیر. اریمه نوْقطه‌سی −90 C دیر.