광해군은 폐위 후 폐비 유씨, 그리고 폐세자 지와 폐세자빈 박씨와 함께 강화도에 유배되었다. 갇혀 살기 시작한 지 두 달 후 폐세자가 울타리 밑에 땅굴을 파고 도주를 시도하다가 발각되었다. 인조는 그 소식을 듣고 한 달 뒤 사촌동생인 폐세자에게 자결을 명하고, 폐세자 질은 그 명에 따라 자결한다. 한편 폐세자빈 박씨는 남편이 잡히는 것을 보고는 나무에서 떨어져 정신을 잃었다가 사흘 뒤에 깨어나 목을 매어 자살하였다. 그해 10월에 폐비 유씨도 화병으로 죽었다. 그러나 인조와 집권 서인은 광해군은 죽이지 않고 천수를 누리도록 하였다.
광해군은 자결하였다.